耐腐蝕特性
| 溶劑 | Parylene 厚度變化（%） | ||
| Parylene N | Parylene C | Parylene D | |
| 異丙醇 | 0.3 | 0.1 | 0.1 |
| 異辛烷 | 0.2 | 0.4 | 0.3 |
| 吡啶 | 0.2 | 0.5 | 0.5 |
| 混合二甲苯 | 1.4 | 2.3 | 1.1 |
| 三氯乙烯（TCE） | 0.5 | 0.8 | 0.8 |
| 氯苯 | 1.1 | 1.5 | 1.5 |
| 二氯苯 | 0.2 | 3 | 1.8 |
| 三氯二氟乙烷 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 丙酮 | 0.3 | 0.9 | 0.4 |
| 一戊二酮 | 0.6 | 1.2 | 1.4 |
| 去離子水 | 0 | 0 | 0 |
| 試劑品種 | 濃度 | Parylene 厚度變化（%） | ||
| Parylene N | Parylene C | Parylene D | ||
| 鹽酸 | 10% | 0 | 0 | 0.1 |
| 濃鹽酸 | 37% | 0.2 | 0 | 0.5 |
| 硫酸 | 10% | 0.1 | 0.3 | 0.2 |
| 濃硫酸 | 95-98% | 0.2 | 0.4 | 0.8 |
| 硝酸 | 10% | 0.1 | 0.1 | 0.2 |
| 濃硝酸 | 71% | 0.2 | 0.2 | 0.5 |
| 鉻酸 | 10% | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 濃鉻酸 | 74% | 0.3 | 0 | 0.2 |
| 強(qiáng)堿（氫氧化鈉） | 10% | 0.1 | 0 | 0.1 |
| 弱堿（氫氧化氨） | 10% | 0.3 | 0.2 | 0.1 |