Parylene沉積使用專門的真空涂覆設(shè)備，沉積過程為第一步在約150℃溫度下將原料進(jìn)行蒸發(fā)，第二步是在680℃溫度下將兩個側(cè)鏈碳碳鏈裂解生成穩(wěn)定的活性單體，最后活性單體進(jìn)入室溫狀態(tài)下的沉積室進(jìn)行聚合沉積，瞬間吸附在基體上聚合成為Parylene薄膜。
Parylene是一種敷形涂層材料，用獨特的真空氣相沉積工藝制備，由活性小分子在基材表面“生長”出完全敷形的聚合物薄膜涂層,它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊，裂縫，內(nèi)表面及可深入裂縫里和內(nèi)表面。涂層厚度 均勻、致密無針孔、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，是當(dāng)代最有效的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧涂層材料。
Parylene有著許多其他敷形涂層所不能及的優(yōu)勢，這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的微米級薄膜涂層能達(dá)到優(yōu)異的電絕緣性和屏障性、表面憎水性、潤滑、良好的生物相容性，熱穩(wěn)定性等。Parylene特別適合高頻部件的防護(hù)，因現(xiàn)有的環(huán)氧、聚氨酯、丙烯酸等敷形涂層會對高頻部件的微波性能產(chǎn)生較大的影響。